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　　今天低温等离子电源厂家来给大家讲解一下等离子清洗的分类
。
　　等离子体与固体表面发生反应可以分为物理反应和化学反应。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面
，使污染物脱离表面被真空泵吸走

；化学反应机制是各活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质。
　　以物理反应为主的等离子体清洗
，也叫做溅射腐蚀或离子铣，其优点在于本身不发生的化学反应，清洁表面不会留下氧化物
，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性；缺点就是对表面产生了很大的损害
，会产生很大的热效应
，对被清洗表面的各不同物质选择性差
，腐蚀速度较低
。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高
、选择性好

、对清掉污染物有用，缺点是会在表面产生氧化物。
　　和物理反应相比较，化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有不同，物理反应能够使表面在分子类范围内变得“粗糙”，从而改变表面的粘接特性
。还有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用
，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促成，离子轰击使被清洗表面产生损坏削弱其化学键或者形成原子态
，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之容易产生反应；其作用是既有较好的选择性、清洗率
、均匀性，又有较好的方向性
。